621.3

Разработка подсистемы оптимизации технологического процесса производства интегральных схем

Работа посвящена разработке алгоритмов подсистемы оптимизации технологического процесса производства интегральных схем. Ключевой особенностью предлагаемой подсистемы оптимизации производства интегральных схем является модуль управления, в котором используются алгоритмы управления с подстройкой параметров модели.

Эта статья в журнале